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本实用新型涉及一种用于真空镀膜设备的双层密封结构，包括真空泵，真空泵通过真空管道与法兰上泄气孔8连接，其特征在于：它由内层密封圈3、外层密封圈4以及密封法兰1和光面法兰2组成，密封法兰1密封面上开有密封槽6，内层密封圈3和外层密封圈4嵌于密...
该专利属于中国建材国际工程集团有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国建材国际工程集团有限公司授权不得商用。

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