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本实用新型公开一种电子束蒸发源装置，其蒸发源包括坩埚机构、电子束发生机构、散射电子吸收极及离子收集极，坩埚机构上具有多个坩埚，散射电子吸收极设于坩埚的上方，电子束发生机构的上端开设有与坩埚相对应的出孔，离子收集极位于电子束发生机构的上方，电...
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