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本实用新型公开了一种多晶硅氢化炉的热场结构，包括隔热罩、隔热盘和底盘，隔热罩具有一容置腔，该容置腔朝向底盘开设有一开口，底盘封闭该开口，隔热盘定位设置在底盘朝向容置腔的一侧面上，且隔热盘容置于容置腔的内部，另在隔热盘上设置有多个电极座；在容...
该专利属于美尔森先进石墨（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过美尔森先进石墨（昆山）有限公司授权不得商用。

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