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具有MEMS器件的装置。提出一种装置和用于具有至少一个MEMS器件的装置的制造方法，所述装置包括封装，该封装密封地包围MEMS器件并且相对于环境影响密封。该封装作为密封体包括借助于功能组聚合的全氟聚醚构成的PFPE层。...
该专利属于埃普科斯股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过埃普科斯股份有限公司授权不得商用。

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