【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
具有至少一个MEMS器件的装置，－？包括至少包围MEMS器件并且相对于周围环境密封的封装，－？其中所述封装作为密封体包括由借助于功能组聚合的全氟聚醚构成的PFPE层。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：G亨，
申请(专利权)人：埃普科斯股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。