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本实用新型涉及一种硅片传输轨道的吹扫装置，所述吹扫装置包括吹气管道和支架，所述支架包括用于将整个吹扫装置安装于具有硅片传输轨道的设备上的安装件和与所述安装件相连且用于支撑所述吹气管道的支撑件，所述吹气管道一端为气体输入端，另一端为用于对硅片...
该专利属于海南英利新能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海南英利新能源有限公司授权不得商用。

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