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本实用新型涉及半导体晶片工艺技术领域,特别涉及一种清洗雾化喷射装置。该清洗雾化喷射装置,包括:上壳体、与上壳体连接的下壳体;上壳体为二阶圆筒状,包括第一阶壳体和第二阶壳体,第一阶壳体的横截面积小于第二阶壳体的横截面积;第一阶壳体设有可与功率...该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。
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