下载静电驱动器的技术资料

文档序号:8275480

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静电驱动器(100)具备:具有基板(102)和在该基板(102)上分别独立设置、互相平行配置的多个线状电极(1a~1d)的固定件(1);以及配置在该固定件(1)的线状电极(1a~1d)上的移动件(2)。在固定件(1)的移动件(2)侧的面,以...
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