静电驱动器制造技术

静电驱动器（100）具备：具有基板（102）和在该基板（102）上分别独立设置、互相平行配置的多个线状电极（1a～1d）的固定件（1）；以及配置在该固定件（1）的线状电极（1a～1d）上的移动件（2）。在固定件（1）的移动件（2）侧的面，以等间隔设有多个突状体（104b），形成衬垫面。在与该衬垫面对置的移动件（2）的面形成润滑层（105）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及静电驱动器(静電7 ”千工工一夕\
技术介绍
以往，已知的静电驱动器具备设有电极的固定件；以及配置在该固定件上并且具有树脂基板和设在树脂基板上的电阻器膜的移动件。由于这样的静电驱动器在固定件和移动件平面地相贴的状态下运动，所以保持原样地固定件与移动件的摩擦阻力有增大的倾向。因此，在以往的静电驱动器中存在如下结构在固定件的上表面设有凹凸面，该凹 凸面固定有通过绝缘性粘合剂固接的导电性珠(beads)，在与该凹凸面对置的移动件的背面设有润滑面(例如JP09 - 121562)。但是，包含珠的墨(涂料)的印刷或者涂敷容易筛眼堵塞，另外珠含有的液体容易凝聚、在凹凸面出现不均。而且，在珠含有量较少的情况下，由于凸部间隔变宽、膜弯曲，从而凹凸面和润滑面平面相接的面积变宽。另一方面，在珠含有量较多的情况下，容易卷曲，另外接触的凸部变多，摩擦阻力也增大。并且，在固定珠的绝缘性粘合剂(树脂层)比既定值薄的情况下，珠容易脱落，在比既定值厚的情况下，珠被覆盖而不能形成凹凸面的既定的凹凸。S卩，在上述以往的静电驱动器中，存在如下问题使用了导电性珠的凹凸面的面内的凹凸的均匀性低，固定件与移动件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥德男，
申请(专利权)人：大日本印刷株式会社，
类型：
国别省市：