下载具有改进的装置特性的原生装置及制造方法的技术资料

文档序号:8275365

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本发明呈现一种用于制造原生装置的方法。所述方法包含:在衬底上形成栅极结构,其在内标记区的外边缘处开始,其中所述栅极结构在纵向方向上延伸;以及执行MDD植入,其中使用相对于所述栅极结构的不同定向来执行每一植入;执行袋植入,其中使用相对于所述栅...
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