下载薄膜晶体管基板及其制造方法的技术资料

文档序号:8275307

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各TFT(5a)包括:设置在基板(10)的栅极电极(11a);以覆盖栅极电极(11a)的方式设置的栅极绝缘膜(12);在栅极绝缘膜(12)上以与栅极电极(11a)重叠的方式设置有沟道区域(C)的、包括氧化物半导体的半导体层(13a);和在半...
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