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本发明揭露一种在微影制程中将光罩数据图案透过平行同步影像处理机制施加于基板之系统及方法。在一实施例中，该平行同步影像处理系统包括：一图形引擎，其可将一对象划分为多个梯形，并取各梯形之一边，列出一代表该多个梯形之边表；以及一分配器，其可自该图...
该专利属于派因布鲁克成像系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过派因布鲁克成像系统公司授权不得商用。

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