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本发明提供一种形成图案的方法以及一种在极限解析力、粗糙度特征、曝光宽容度(EL)及桥接缺陷性能方面优越的感光化射线性或感放射线性树脂组合物。所述形成图案的方法包含(1)使感光化射线性或感放射线性树脂组合物形成膜、(2)将所述膜曝光，以及(3...
该专利属于富士胶片株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士胶片株式会社授权不得商用。

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