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本发明的图像拾取设备包括：光源单元；照明光学系统，被配置为将来自光源单元的光引导到待照射面上；样本台，被配置为将对象放置在待照射面上；图像拾取光学系统，被配置为形成放置在待照射面上的对象的图像；图像拾取元件部，通过在图像拾取光学系统的像面上...
该专利属于佳能株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能株式会社授权不得商用。

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