图像拾取设备制造技术

本发明专利技术的图像拾取设备包括：光源单元；照明光学系统，被配置为将来自光源单元的光引导到待照射面上；样本台，被配置为将对象放置在待照射面上；图像拾取光学系统，被配置为形成放置在待照射面上的对象的图像；图像拾取元件部，通过在图像拾取光学系统的像面上设置多个图像拾取元件来配置；以及遮光部件，被配置为减少光进入到没有设置图像拾取元件部的多个图像拾取元件的区域。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：川上智朗，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：
国别省市：