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本发明涉及一种ITO溅射靶，通过在背衬板上排列多个ITO分割靶并与该背衬板接合而构成，其中，仅在排列的ITO分割靶间的空隙侧的侧面具有选自铟、铟合金或锡合金的一种物质的覆盖层。本发明的课题在于提供：即使在分割ITO靶的连续溅射时，也可以抑制...
该专利属于吉坤日矿日石金属株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过吉坤日矿日石金属株式会社授权不得商用。

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