下载一种有机场效应晶体管的制作方法的技术资料

文档序号:8272575

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本发明公开了一种有机场效应晶体管的制作方法。该方法包括如下步骤:(1)清洗表面设有栅电极的基底;(2)在所述栅电极上沉积聚合物绝缘层;所述聚合物绝缘层为聚苯乙烯绝缘层或聚甲基丙烯酸甲酯绝缘层;(3)在所述聚合物绝缘层上悬涂光刻胶,然后置于光...
该专利属于中国科学院化学研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院化学研究所授权不得商用。

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