下载集成图形阵列高压LED器件的制备方法的技术资料

文档序号:8272538

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本发明公开了一种集成图形阵列高压LED器件的制备方法,包括如下工艺步骤:提供一衬底,衬底上依次形成有N型GaN限制层、外延发光层和P型GaN限制层;通过光刻结合蚀刻工艺将衬底上的N型GaN限制层、外延发光层和P型GaN限制层隔离出至少两个以...
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