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本发明提供一种TCO型导电DBR垂直式蓝光LED芯片及其制作方法，该方法是在蓝宝石衬底上形成发光外延层，然后在发光外延层的上表面蒸镀由第一种N型TCO薄膜与第二种N型TCO薄膜和/或第n种N型TCO薄膜交替叠合组成的TCO型导电性DBR层，...
该专利属于上海博恩世通光电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海博恩世通光电股份有限公司授权不得商用。

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