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本发明属于晶体硅太阳能电池制绒设备技术领域，具体涉及一种晶体硅太阳能电池RIE制绒装置。该装置包括反应室、气体管道、喷淋装置和反应离子挡板，其中，喷淋装置位于反应室的顶部，气体管道上设置有流量控制器；硅片正面上方添加反应离子挡板。本发明可以...
该专利属于山东力诺太阳能电力股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东力诺太阳能电力股份有限公司授权不得商用。

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