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本发明涉及薄膜太阳能电池的制作方法及系统。一种薄膜太阳能电池的制作方法包括以下步骤：在衬底上设定定位标记和分割轨迹；在衬底上沉积钼背电极，并根据所述定位标记进行定位，完成第一次划线；在所述钼背电极上依次沉积铜铟镓硒光吸收层、缓冲层和高阻层，...
该专利属于深圳先进技术研究院;香港中文大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳先进技术研究院;香港中文大学授权不得商用。

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