温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种制备肖特基结单面电极太阳能电池铝背电极的设备。设备包括连续式真空室、气路控制系统、电控系统、加热系统、镀膜系统、激光系统、抽气系统。其中真空室1为进片室，真空室2为缓冲室，真空室3为溅射镀铝膜室，真空室4为缓冲室，真空室5为...
该专利属于刘莹所有，仅供学习研究参考，未经过刘莹授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。