下载一种肖特基二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:8272487

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本发明提供一种肖特基二极管,包括衬底层以及形成在衬底层上方的一系列Ⅲ族氮化物层,利用异质结结构,使相邻Ⅲ族氮化物层之间形成二维电子气沟道,Ⅲ族氮化物层与阴极电极形成欧姆接触,Ⅲ族氮化物层与阳极电极形成肖特基接触;还包括与阳极电极连接的金属场...
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