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本发明提供了一种横向双扩散金属氧化物半导体及其制造方法,该横向双扩散金属氧化物半导体包括:半导体衬底;在所述半导体衬底中形成的阱区;在所述半导体衬底中与所述阱区相邻形成的漂移掺杂区,所述漂移掺杂区与所述阱区导电类型相反;在所述阱区中形成的源...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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