下载碳化硅半导体装置的技术资料

文档序号:8272427

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种能够以少的工序数形成并且具备耐热性优良的温度检测元件的碳化硅(SiC)半导体装置。SiC半导体装置具备:半导体元件,形成在SiC基板(1)上;源极电极(15)以及栅极焊盘(16),使用在底面具备势垒金属(14)的布线层形成;测...
该专利属于三菱电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。