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半导体元件及其制造方法技术
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文档序号:8272393
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一种半导体元件及其制造方法。半导体元件的制造方法包括下列步骤。于衬底中形成多个沟道,其中各沟道具有第一侧壁及与第一侧壁相对的第二侧壁。于沟道中分别形成多个导体结构,各导体结构具有掺杂区,各掺杂区形成于各沟道的第一侧壁中。于衬底上顺应性地形成...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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