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本发明提供基板处理装置、基板保持装置及基板保持方法，尤其涉及即使是弯曲的基板也能够以简单的结构可靠地保持的技术。对基板实施描画处理的描画装置(1)具有：保持板(11)，形成有与基板(W)的背面相向的保持面(111)；真空吸引口(12)，形成...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。

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