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一种MOS晶体管、具有应力层的衬底及其形成方法，具有应力层的衬底的形成方法包括：提供衬底；在所述衬底上形成掩膜层，所述掩膜层具有凹槽和开口，所述凹槽对应第一类型的MOS晶体管源区区域和漏区区域，所述开口对应第二类型的MOS晶体管沟道区域；以...
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