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存储器的制造方法技术
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文档序号:8272347
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本发明公开了一种存储器的制造方法。提供一基底,基底包括一存储胞区与一周边区,存储胞区形成多个第一栅极,第一栅极之间具有多个第一开口。于存储胞区的基底上形成一氮化层,氮化层覆盖第一栅极与第一开口。于周边区的基底上形成一氧化层。进行一氮化工艺,...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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