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本发明提供了一种采用选择性腐蚀制备带有绝缘埋层的衬底的制备方法，包括如下步骤：提供器件衬底和支撑衬底；采用离子注入在器件衬底中形成腐蚀自停止层，并将器件衬底分离成牺牲层和器件层；在支撑衬底的正面和背面均形成绝缘层；以支撑衬底正面的绝缘层的暴...该专利属于上海新傲科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过上海新傲科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。