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本发明涉及一种透明导电薄膜的制备方法，特别涉及一种三掺杂新型透明导电薄膜的制备方法。其目的在于提供一种通过Al、N、F三元素共掺，以减少ZnO基透明导电薄膜中的缺陷，增加载流子浓度，从而获得一种具有优良光电性能的新型透明导电薄膜，使其得到更...
该专利属于山东建筑大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东建筑大学授权不得商用。

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