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用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置制造方法及图纸
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下载用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置的技术资料
文档序号:8270891
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本发明公开了一种用于浸没式光刻机的旋转滚子密封装置。旋转滚子密封装置是在投影透镜组和衬底之间的装置,由内构件、外构件、端盖和滚子组成。在光刻扫描过程中,浸没液体伴随衬底高速运动的牵拉作用,将产生与衬底运动方向一致的液体流动。该装置采用旋转滚...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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