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一种自由曲面光学微镜阵列的制作方法技术
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文档序号:8270881
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一种自由曲面光学微镜阵列的制作方法,属于光学技术领域,步骤是在基片表面涂布感光胶,加热后烘胶厚,根据自由曲面表面的坐标值点进行变剂量曝光,通过显影后得到感光胶自由曲面面型结构,对基片进行均匀化处理、动态离子束刻蚀和流体抛光,制得光学微镜阵列...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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