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本发明公开了一种高速太赫兹波调制装置及其方法。它包括太赫兹波输入端、激光输入端、太赫兹波输出端、太赫兹波探测器、半圆柱形高阻硅透镜、金属薄膜层和基体；在基体上设有金属薄膜层，金属薄膜层上设有半圆柱形高阻硅透镜，半圆柱形高阻硅透镜下底面为长方...
该专利属于中国计量学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量学院授权不得商用。

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