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一种反射式体全息布拉格光栅紫外曝光的方法技术
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文档序号:8270727
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本发明公开了一种反射式体全息布拉格光栅紫外曝光的方法。包括以下步骤:(1)将待曝光的光栅材料的表面进行抛光;(2)在光栅出射面上镀有反射膜;(3)用一束平行的紫外光从光栅入射面照射光栅材料,反射的紫外光在光栅材料内部和入射的紫外光进行干涉,...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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