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光纤干涉仪隔震隔声封装结构制造技术
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文档序号:8270246
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一种光纤干涉仪隔震隔声封装结构,包括:一下部结构;一中部结构,为圆形,该中部结构固定在下部结构上;一上部结构,固定在中部结构上,该上部结构包括一上部固定平板,在其上均匀装配有四个立柱,该每一立柱的上端一侧装配有定滑轮,四条弹性带,一端与上部...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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