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一种晶体生长炉的气体导流装置以及晶体生长方法制造方法及图纸
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文档序号:8268450
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本发明提供了一种晶体生长炉的气体导流装置,它包括保护气体进气管、石墨顶板和顶板伸缩套管;保护气体进气管位于晶体炉中央,垂直贯穿晶体炉顶部和石墨顶板,止于石墨顶板底面;石墨顶板通过顶板伸缩套管滑动连接在保护气体进气管上;石墨顶板由盖板和顶板主...
该专利属于吕铁铮;赵丽丽;赵荣森所有,仅供学习研究参考,未经过吕铁铮;赵丽丽;赵荣森授权不得商用。
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