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本发明公开一种薄膜沉积系统，尤指一种利用摩擦力带动承载器自转的薄膜沉积系统，包含有一载盘、一中心盘及至少一承载器。其中，中心盘的周缘具有一中心斜面，各承载器的周缘分别具有一承载斜面，利用中心斜面与承载斜面接触，可于载盘或中心盘旋转时，带动各...
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