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本发明涉及区熔单晶硅技术领域，公开了一种双向平动机构，包括平动下板，固定于区熔单晶炉的上炉室；平动中板，与平动下板滑动装配；平动上板，与区熔单晶炉的上传动固定连接，且与平动中板滑动装配；驱动平动中板滑动的第一驱动装置，与平动下板相对固定；驱...
该专利属于北京京运通科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京运通科技股份有限公司授权不得商用。

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