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本发明实施例公开了一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉,涉及半导体材料制备技术领域,用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。所述区熔炉门板锁紧机构,用于实现区熔炉门板的锁紧与开启,所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜...该专利属于北京京运通科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京运通科技股份有限公司授权不得商用。
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