下载一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉的技术资料

文档序号:8268440

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明实施例公开了一种区熔炉门板锁紧机构及区熔炉,涉及半导体材料制备技术领域,用来解决现有锁紧机构开启锁紧费时费力、自动化程度差的问题。所述区熔炉门板锁紧机构,用于实现区熔炉门板的锁紧与开启,所述门板的两相对侧分别设有与所述门板的边缘通过斜...
该专利属于北京京运通科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京运通科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。