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用于光辅助金属有机物化学气相沉积的气体喷淋头装置，涉及低压MOCVD领域。本发明包括气体管道，其特征在于，在气体管道上设置有紫外线光源；气体管道上还设置有透光窗口，从紫外光源到管道内部形成通光路径；在气体管道上设置有隔热装置。本发明的有益效...
该专利属于电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过电子科技大学授权不得商用。

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