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溅射装置包括：具有磁性的多个靶，位于所述多个靶中相邻的靶之间并且具有磁性的反射体，位于所述靶上并形成引导微波的导引空间且具有磁性的波导器，以及位于所述波导器上从而与所述靶、所述反射体以及所述波导器一起形成电子回旋共振区域并具有磁性的限幅器。...
该专利属于三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星显示有限公司授权不得商用。

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