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本发明提供一种碱可溶树脂及其制备方法、光致抗蚀剂。本发明所提供的碱可溶树脂是修饰有β-环糊精或β-环糊精衍生物的碱可溶树脂，所述β-环糊精或β-环糊精衍生物通过酯键或酰胺键与碱可溶树脂结合。该碱可溶树脂可用于制备光致抗蚀剂。本发明的碱可溶树...
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