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一种激光切片方法，将被加工基板载置到台上，产生时钟信号，射出与时钟信号同步的脉冲激光束，通过与时钟信号同步而使用脉冲选择器控制脉冲激光束，由此以光脉冲单位切换脉冲激光束向被加工基板的照射和不照射，向第一直线上进行脉冲激光束的第一照射，在第一...
该专利属于东芝机械株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东芝机械株式会社授权不得商用。

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