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本发明是一种新型的常压双介质阻挡扁口型活性自由基清洗设备，包括高压电极、介质阻挡层、接地电极、电源、移动机械手以及进气和排气系统。该设备的特性在于高压电极和地电极分别由介质阻挡层包裹，在常压下即可在高压电极和接地电极的间隙中发生放电，产生等...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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