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线锯控制系统和线锯技术方案
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文档序号:8249779
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本实用新型公开一种线锯控制系统和线锯。提供给一种用于操作线锯(100)的线锯控制系统(1)。线锯适用于通过以可选择的线速度将线(230)相对于晶片移动而切割晶片(304、304、306、308)。线锯控制系统包括用于检查线的照相机(20);...
该专利属于应用材料瑞士股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料瑞士股份有限公司授权不得商用。
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