下载半导体晶棒成型缸的技术资料

文档序号:8249710

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本实用新型涉及半导体生产技术领域,涉及晶棒成型机部件,是半导体晶棒成型缸,它包括成型缸本体,所述的成型缸本体是侧边连通有抽真空管、外面设置有加热管,所述的成型缸本体是绝缘材料制成的、具有中通孔的腔体的结构,所述的成型缸本体是陶瓷制成的,所述...
该专利属于河南恒昌电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河南恒昌电子有限公司授权不得商用。

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