下载一种涂布设备的技术资料

文档序号:8248074

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本实用新型公开了一种涂布设备,包括喷嘴和用于放置待涂布基板的涂布平台;还包括:采集所述涂布平台或基板上、位于所述喷嘴前方异物的信息的感应模块;信号连接所述感应模块,根据所述感应模块采集的信息判断存在异物时生成执行信号的信号处理模块;信号连接...
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