下载结构体、及半导体基板的制造方法的技术资料

文档序号:8244225

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本发明提供一种结构体,其具备:蓝宝石的基底基板、和配置在上述基底基板上的III族氮化物半导体的半导体层,上述基底基板的上表面是自属于{1-100}面群的m面相对于与上述m面正交且属于{11-20}面群的a面的法线以0.5°以上且4°以下的角...
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