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光阻剥离剂组成物制造技术
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文档序号:8244069
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一种光阻剥离剂组成物,包含按重量计0.5-5%的烷基氢氧化铵、按重量计60-90%的非质子性极性溶剂、按重量计0.1-3%的芳香族多羟基醇、按重量计0.1-5%的线性多羟基醇、以及按重量计5-30%的水;该光阻剥离剂组成物具有优异的剥离正型...
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